液晶－蚀刻减薄设备(非标设备)
1．设备概要
本设备对应ITO膜厚，利用四个区的蚀刻单元实施处理，根据膜
厚不同，通过开关选择，切换气阀等管路系统。通过喷淋、倾斜
和风刀去除液体，从而实现ITO膜的蚀刻过程。为对应彩色基
板，可使用50℃（MAX55℃）液温的蚀刻液（盐酸、DIW、氯化
铁）。
2．设备规格
（1）处理对象：STN、CSTN液晶用玻璃板
（2）处理目的：ITO膜蚀刻，干燥
（3）玻璃尺寸： 14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、
1.1mm
（4）篮子规格：贵公司提供
（5）基板传送方向：从左到右，或从右到左
（6）设备外形尺寸：约11380×1400×1650mm
（7）干燥重量：约7000Kg
（8）基板传送高度：从地面至基板下面为900mm
（9）传送方式：水平枚叶式传送方式
（10）传送滚轮间距：基本为80mm
（11）处理时间：标准17秒/块；标准传送速度约2.1m/分
（12）启动准备时间：启动后约60分钟
3．外供电源
（1）主机：3相，380V，50Hz，约58kWA
（2）纯水用量：约32L/min，0.15Mpa G，电阻值10MΩ/cm以上
（3）冷却水用量：约0L/min
（4）空气用量：约2500NL/min，0.4～0.5Mpa G，洁净干燥气
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