全自动磷硅玻璃腐蚀机
设备简介：
1）主要用于单、多晶硅太阳能电池片生产,刻蚀后的清洗。
2）工艺流程：
上料→HF腐蚀+氮气鼓泡→QDR+氮气鼓泡+喷淋→ 下料→离心机
甩干
3）设备采用单臂机械手，其工艺时间可以自行调节。能显示温
度曲线、浓度变化曲线，及各个工位的工作状态。酸槽具有自动
补液装置，可实现无间断生产。具有设备报警说明，报警历史查
询功能。对清洗用纯水有电阻率监测装置，能存储10个以上工艺
方案；
4）标准工艺下产量：125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×
210mm的硅片，厚度为160±30――200±30微米的硅片，硅片产
能不低于1200片/小时，设备开工率＞92�，碎片率≤3‰。
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