清洗制绒设备
设备简介：
1）主要用于单、多晶硅太阳能电池片生产,扩散前的绒面腐蚀和
清洗。
2）工艺流程：
上料→HF+HNO3腐蚀→QDR+氮气鼓泡+喷淋→KOH腐蚀→QDR+氮气
鼓泡+喷淋→HCl腐蚀→QDR+氮气鼓泡+喷淋→下料→离心机甩干
(离线)
3）设备采用龙门式机械手方式移动，其工艺时间可以自行调
节，酸碱槽具有自动补液装置，可实现无间断生产。能显示温度
曲线、浓度变化曲线，及各个工位的工作状态。具有设备报警说
明，报警历史查询功能。对清洗用纯水有电阻率监测装置，能存
储10个以上工艺方案；
4）标准工艺下产量：125mm×125mm、156mm×156mm、 210mm×
210mm的硅片，适用于投产厚度为160±30～200±30微米的硅
片，硅片产能不低于1200片/小时，设备开工率＞92�，碎片率
≤3‰。
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