HL.硅片甩干机
设备概述:
硅片甩干机是由该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主
要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。
1•甩干机机型
双工作腔结构，最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构.
2•系统构成
整机采用双工位（或单工位）层叠、积本式组合结构，每个工位
可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率
监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理
在内的全自动工艺处理过程。
3•结构原理与特点
（1）洁净化处理技术 ⑵ 大功率无刷电机驱动
⑶ 清洗工作腔体 ⑷ 转轴氮气密封技术
⑸ 去离子水控制 ⑹ 防静电控制
⑺ 防震、隔震技术 ⑻ 测速、计数控制技术
⑼ 制动控制技术 ⑽ 系统控制技术
⑾ 工艺处理软件 ⑿ 颗粒控制性能
⒀ 安全及防护处理 ⒁ 门位置状态监控与互锁
⒂ 生产技术
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