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> 显影机
[Updated: 2008/06/02] |
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显影机
1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显
影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。
2．整台设备材料均为进口。
3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两
排可独立同时完成相应的工序。
4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动
完成。
5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。
6．工作区洁净度：100级。
7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S
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