全自动硅片清洗机（非标设备）
(1) 本设备用于2″―8″硅片的规模生产清洗。
(2) 整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清
洗2个花篮。 (3) 本设备由机架
部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气
控制系统构成。
⑷ 工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口
导轨和机械手来满足工艺时序。
(5) 除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，
适用于连续批量生产。
(6) 机台内设高效过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100
级，10级为特级）。
(7) 电控部分：人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障
报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。
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